• NANO CONVERGENCE LEADER PROGRAM FOR MATERIALS, PARTS, AND EQUIPMENTS

    소재·부품·장비 나노컨버전스 리더 교육연구단

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BK21 사업

BK21 주요안내

특허

 출원등록(출원) 번호PCT/KR2022/012143등록(출원)일자20220812발명의 명칭분자선 구조를 갖는 다층 분자막 포토레지스트 및 이의 제조방법발명자이재혁, 성명모, 안진호*, 박영은, 지현석등록국가PCT특허권자한양대학교 산학협력단 

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특허

 출원등록(출원) 번호10-2022-0101505등록(출원) 일자20220812발명의 명칭분자선 구조를 갖는 다층 분자막 포토레지스트 및 이의 제조방법발명자이재혁, 성명모, 안진호*, 박영은, 지현석등록국가대한민국특허권자한양대학교 산학협력단 

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특허

 출원등록(출원) 번호PCT/KR2022/010184등록(출원) 일자20220713발명의 명칭3차원 메모리 어레이 및 그 제조 방법발명자박영욱, 안진호*등록국가PCT특허권자한양대학교 산학협력단 

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특허

 출원등록(출원) 번호10-2022-0081588등록(출원) 일자20220704발명의 명칭DRAM 소자의 캐패시터 및 그 제조 방법발명자박영욱, 김선용, 박인성, 안진호*, 신왕철등록국가대한민국특허권자한양대학교 산학협력단 

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특허

 출원등록(출원) 번호17/851,580등록(출원) 일자20220628발명의 명칭 MASK PROTECTIVE MODULE, PELLICLE HAVING THE SAME, AND LITHOGRAPHY APPARATUS HAVING THE SAME발명자안진호*, 홍성철, 김정환등록국가미국특허권자한양대학교 산학협력단 

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특허

 출원등록(출원) 번호10-2022-0067753등록(출원) 일자20220602발명의 명칭조명계 조절을 통한 EUV 마스크 검사 장치 및 방법발명자안진호*, 문승찬, 김영웅, 이동기, 최진혁등록국가대한민국특허권자한양대학교 산학협력단 

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특허

출원등록(출원) 번호10-2022-0066154등록(출원) 일자20220530발명의 명칭EUV 마스크 소재의 굴절계수 및 흡광계수 측정 장치 및 방법발명자안진호*, 이동기, 김영웅, 문승찬, 최진혁등록국가대한민국특허권자한양대학교 산학협력단 

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특허

 출원등록(출원) 번호10-2022-0043229등록(출원) 일자20220407발명의 명칭EUV 노광공정용 종합 검사 장치발명자안진호*, 이동기, 김영웅, 문승찬, 최진혁등록국가대한민국특허권자한양대학교 산학협력단 

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특허

 출원등록(출원) 번호10-2021-0185830등록(출원) 일자20211223발명의 명칭펠리클 세정 장치 및 이를 이용한 펠리클 세정 방법발명자박진구, 김태곤, 안진호*, 박상욱, 이병훈, 정창영등록국가대한민국특허권자삼성전자(주), 한양대학교 에리카 산학협력단 

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특허

 출원등록(출원) 번호10-2021-0162990등록(출원) 일자20211124발명의 명칭극자외선 노광 공정용 펠리클의 열적 내구성 개선 방법발명자위성주, 장용주, 김하늘, 안진호*등록국가대한민국특허권자한양대학교 산학협력단 

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산학협력

2022-2학기 신소재공학과 대학원 Fair

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산학협력

부산대학교 재료공학과 BK 교육연구단 [글로벌 하이테크 소재부품 인력양성 사업단]과의 MOU 체결

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산학협력

[2021 산학협력 EXPO] 최선진 교수 연구팀, 온/오프라인 전시 참가

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