특허
기술이전교수명안진호구분특허 관련 기술이전기술내역중간혼합층이 형성된
펠리클 구조체 및 그 제조방법대상기관㈜티디앤제이기술이전 형태양도이전일2023.02.22.계약금액44,000,000원상세설명극자외선 양산 공정 적용을 위해 다층 박막 간 inter-mixing layer를 기형성한 펠리클 구조체 특허 양도
계약
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특허
출원출원 번호10-2023-0127687출원 일자20230925발명의 명칭펠리클 홀딩 모듈, 이를 포함하는 펠리클 열적 내구성 평가 장치, 및 펠리클 열적 내구성 평가 방법발명자안진호*, 장용주, 위성주등록국가대한민국특허권자한양대학교 산학협력단
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특허
출원출원 번호10-2023-0118214출원 일자20230906발명의 명칭EUV 광의 위상 변위량 및 EUV용 시편의 굴절계수 측정 장치 그리고 그 방법발명자안진호*, 이동기, 문승찬, 최진혁등록국가대한민국특허권자한양대학교 산학협력단
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특허
출원출원 번호PCT-KR2023-009387출원 일자20230704발명의 명칭DRAM 소자의 커패시터 및 그 제조 방법발명자안진호*, 박영욱, 박인성, 신왕철, 김선용등록국가PCT특허권자한양대학교 산학협력단
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특허
출원출원 번호10-2023-0086037출원 일자20230703발명의 명칭극자외선 노광공정용 마스크 합금형 흡수체 소재발명자안진호*, 정동민, 김연수, 이승호등록국가대한민국특허권자한양대학교 산학협력단, 삼성전자
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특허
출원출원 번호10-2023-0081285출원 일자20230623발명의 명칭다층 커패시터 수평 전극들을 포함하는 3차원 메모리 및 그 제조 방법발명자안진호*, 박영욱, 박인성, 신왕철, 김성준등록국가대한민국특허권자한양대학교 산학협력단
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특허
출원출원 번호10-2023-0079681출원 일자20230621발명의 명칭보호층 증착을 통한 다공성 EUV 펠리클의 제조 방법, 및 이에 사용되는 구조체발명자안진호*, 위성주, 김하늘, 김정연등록국가대한민국특허권자한양대학교 산학협력단
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특허
출원출원 번호PCT/KR2023/007158출원 일자20230525발명의 명칭조명계 조절을 통한 EUV 마스크 검사 장치 및 방법발명자안진호*, 이동기, 김영웅, 문승찬, 최진혁등록국가PCT특허권자한양대학교 산학협력단
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특허
출원
출원 번호
PCT/KR2023/007157
출원 일자
20230525
발명의 명칭
EUV 마스크 소재의 굴절계수 및 흡광계수 측정 장치 및 방법
발명자
안진호*, 이동기, 김영웅, 문승찬, 최진혁
등록국가
PCT
특허권자
한양대학교 산학협력단
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논문
Study on ZrSi2 as a Candidate Material for Extreme Ultraviolet PelliclesSeong Ju Wi, Won Jin Kim, Haneul Kim, Dongmin Jeong, Dong Gi Lee, Jaehyuck Choi, Sang Jin Cho, Lan Yu, Jinho Ahn, Membranes, 13(8), 14 August (2023)
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산학협력
2023-1학기 신소재공학과 대학원 Fair
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산학협력
2022-2학기 신소재공학과 대학원 Fair
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산학협력
부산대학교 재료공학과 BK 교육연구단 [글로벌 하이테크 소재부품 인력양성 사업단]과의 MOU 체결
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산학협력
[2021 산학협력 EXPO] 최선진 교수 연구팀, 온/오프라인 전시 참가
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