|
| 기술이전 | | 교수명 | 안진호 | | 구분 | 특허 관련 기술이전 | | 기술내역 | 중간혼합층이 형성된
펠리클 구조체 및 그 제조방법 | | 대상기관 | ㈜티디앤제이 | | 기술이전 형태 | 양도 | | 이전일 | 2023.02.22. | | 계약금액 | 44,000,000원 (부가세 별도) | | 상세설명 | 극자외선 양산 공정 적용을 위해 다층 박막 간 inter-mixing layer를 기형성한 펠리클 구조체 특허 양도
계약 |
|
|
| 출원 | 출원 번호 | 10-2023-0127687 | 출원 일자 | 20230925 | | 발명의 명칭 | 펠리클 홀딩 모듈, 이를 포함하는 펠리클 열적 내구성 평가 장치, 및 펠리클 열적 내구성 평가 방법 | | 발명자 | 안진호*, 장용주, 위성주 | | 등록국가 | 대한민국 | | 특허권자 | 한양대학교 산학협력단 |
|
|
| 출원 | 출원 번호 | 10-2023-0118214 | 출원 일자 | 20230906 | | 발명의 명칭 | EUV 광의 위상 변위량 및 EUV용 시편의 굴절계수 측정 장치 그리고 그 방법 | | 발명자 | 안진호*, 이동기, 문승찬, 최진혁 | | 등록국가 | 대한민국 | | 특허권자 | 한양대학교 산학협력단 |
|
|
| 출원 | 출원 번호 | PCT-KR2023-009387 | 출원 일자 | 20230704 | | 발명의 명칭 | DRAM 소자의 커패시터 및 그 제조 방법 | | 발명자 | 안진호*, 박영욱, 박인성, 신왕철, 김선용 | | 등록국가 | PCT | | 특허권자 | 한양대학교 산학협력단 |
|
|
| 출원 | 출원 번호 | 10-2023-0086037 | 출원 일자 | 20230703 | | 발명의 명칭 | 극자외선 노광공정용 마스크 합금형 흡수체 소재 | | 발명자 | 안진호*, 정동민, 김연수, 이승호 | | 등록국가 | 대한민국 | | 특허권자 | 한양대학교 산학협력단, 삼성전자 |
|
|
| 출원 | 출원 번호 | 10-2023-0081285 | 출원 일자 | 20230623 | | 발명의 명칭 | 다층 커패시터 수평 전극들을 포함하는 3차원 메모리 및 그 제조 방법 | | 발명자 | 안진호*, 박영욱, 박인성, 신왕철, 김성준 | | 등록국가 | 대한민국 | | 특허권자 | 한양대학교 산학협력단 |
|
|
| 출원 | 출원 번호 | 10-2023-0079681 | 출원 일자 | 20230621 | | 발명의 명칭 | 보호층 증착을 통한 다공성 EUV 펠리클의 제조 방법, 및 이에 사용되는 구조체 | | 발명자 | 안진호*, 위성주, 김하늘, 김정연 | | 등록국가 | 대한민국 | | 특허권자 | 한양대학교 산학협력단 |
|
|
| 출원 | 출원 번호 | PCT/KR2023/007158 | 출원 일자 | 20230525 | | 발명의 명칭 | 조명계 조절을 통한 EUV 마스크 검사 장치 및 방법 | | 발명자 | 안진호*, 이동기, 김영웅, 문승찬, 최진혁 | | 등록국가 | PCT | | 특허권자 | 한양대학교 산학협력단 |
|
|
| 출원 |
출원 번호 |
PCT/KR2023/007157 |
출원 일자 |
20230525 |
| 발명의 명칭 |
EUV 마스크 소재의 굴절계수 및 흡광계수 측정 장치 및 방법 |
| 발명자 |
안진호*, 이동기, 김영웅, 문승찬, 최진혁 |
| 등록국가 |
PCT |
| 특허권자 |
한양대학교 산학협력단 |
|
|
| 출원 |
출원 번호 |
10-2023-0047669 |
출원 일자 |
20230411 |
| 발명의 명칭 |
저항변화식 화학센서 모듈, 무선 전자 기기 및 사물인터넷 시스템 |
| 발명자 |
최선진*, 문회리, 김지한, 이준석, 김민혁, 성서연, 전민규, 김홍희 |
| 등록국가 |
대한민국 |
| 특허권자 |
한양대학교 산학협력단, 울산과학기술원, 한국과학기술원 |
|
|
| 출원 |
출원 번호 |
10-2023-0029375 |
출원 일자 |
20230306 |
| 발명의 명칭 |
화학저항물질 및 그 제조방법, 화학저항 센서 및 장치 |
| 발명자 |
문회리, 이재화, 조수지, 성서연, 김민혁, 김지한, 권오민, 전민규, 김일두,
박충성, 이준석, 최선진* |
| 등록국가 |
대한민국 |
| 특허권자 |
울산과학기술원, 한양대학교 산학협력단, 한국과학기술원 |
|
|
| 출원 |
출원 번호 |
10-2022-0076744 |
출원 일자 |
20220623 |
| 발명의 명칭 |
금속-유기 구조체 템플레이트를 활용한 금속산화물이 기능화된
탄소나노튜브 섬유 기반 무선 가스 센서용 부재, 무선 가스 센서 및 그 제조 방법 |
| 발명자 |
최선진*, 이준석, 최승호, 정현수, 이승주 |
| 등록국가 |
대한민국 |
| 특허권자 |
한양대학교 산학협력단,
한국과학기술연구원 |
|
|
| 출원 | 출원 번호 | 10-2022-0066205 | 출원 일자 | 20220530 | | 발명의 명칭 | 리셉터가 기능화된 고분자 및 탄소나노튜브 복합소재 기반 양이온 센서용 부재, 양이온 센서 및 그 제조 방법 | | 발명자 | 최선진*, 최승호, 이준석, 최원준, 서재우 | | 등록국가 | 대한민국 | | 특허권자 | 한양대학교 산학협력단 |
|
|
| 출원 |
출원 번호 |
10-2022-0037302 |
출원 일자 |
20220325 |
| 발명의 명칭 |
복수의 양이온을 동시에 측정하는 IoT 기반 실시간 센서 플랫폼 장치, 센서 소자 및 센서 소자의 제작 방법 |
| 발명자 |
최선진*, 최승호, 이준석 |
| 등록국가 |
대한민국 |
| 특허권자 |
한양대학교 산학협력단 |
|
|
| 출원 |
출원 번호 |
10-2021-0000869 |
출원 일자 |
20210105 |
| 발명의 명칭 |
리셉터가 기능화된 탄소나노튜브 섬유를 이용한 용질 센서용 부재, 용질 센서 및 그 제조방법 |
| 발명자 |
최선진*, 이준석, 최승호, 정현수 |
| 등록국가 |
대한민국 |
| 특허권자 |
한양대학교 산학협력단, 한국과학기술연구원 |
|
|
| 등록 | 등록 번호 | 10-2380110 | 등록 일자 | 20220324 | | 발명의 명칭 | 리셉터로 기능화된 탄소나노튜브-고분자 복합체, 이를 포함하는 용질센서용 부재, 용질센서 및 그 제조방법 | | 발명자 | 최선진*, 이준석, 최승호 | | 등록국가 | 대한민국 | | 특허권자 | 한양대학교 산학협력단 |
|
|
| 출원 |
등록(출원) 번호 |
PCT/KR2023/004718 |
등록(출원)일자 |
20230407 |
| 발명의 명칭 |
극자외선
노광공정용 펠리클 및 마스크 종합 검사 장치 |
| 발명자 |
안진호*,
이동기, 김영웅, 문승찬, 최진혁 |
| 등록국가 |
PCT |
| 특허권자 |
한양대학교 산학협력단 |
|
|
| 출원 |
등록(출원) 번호 |
10-2023-0043329 |
등록(출원)일자 |
20230403 |
| 발명의 명칭 |
Optical
flat을 이용한 extreme ultraviolet 블랭크마스크 검사 장치 및 그 방법 |
| 발명자 |
안진호*,
이동기, 문승찬, 최진혁 |
| 등록국가 |
대한민국 |
| 특허권자 |
한양대학교 산학협력단 |
|
|
| 출원 |
등록(출원) 번호 |
10-2023-0038378 |
등록(출원)일자 |
20230324 |
| 발명의 명칭 |
위상 복원
알고리즘을 이용한 EUV 소재의 광학 상수 측정 장치와 그 방법 |
| 발명자 |
안진호*,
문승찬, 정동민, 이동기, 김연수, 김원진, 조민선, 최진혁 |
| 등록국가 |
대한민국 |
| 특허권자 |
한양대학교 산학협력단 |
|
|
| 출원 |
등록(출원) 번호 |
10-2023-0038380 |
등록(출원)일자 |
20230324 |
| 발명의 명칭 |
소재의
극자외선 광 특성 평가 및 패턴 마스크 검사 장치 |
| 발명자 |
안진호*,
문승찬, 이동기, 최진혁 |
| 등록국가 |
대한민국 |
| 특허권자 |
한양대학교 산학협력단 |
|
|
